当然,这是最简易的光刻步骤,在实际生产制造中,比这复杂了上百倍。
当时间来到
午四
半的时候。
而在ic制造中,光刻又是半导
芯片生产
程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本
。
一旁,刘元龙沉声
“各位,你们难
没有意识到吗?刚才我们用的,只是这台光刻机最底线的
度!”
“这是一个突破,了不起的突破,如果我们把这里发生的事
,宣布
去,足以震惊整个华夏,乃至是中央都要被惊动!”
其中的难
和关键
,在于将电路图从掩模上转移至硅片上。
所以,光刻的工艺
平,往往直接决定了芯片的制程
平和
能
平。
一般的光刻步骤,有气相成底膜、旋转涂胶、
烘、曝光、显影、
膜。
“不可思议啊!全华夏能
60n芯片的企业,不超过三家,而且全是在18年
半年才刚刚突破的技术,还是在实验室里!
到量产的话,得到今年年底,甚至是明年年初去了。”
“……”
虽然60n芯片的量产,和45n芯片的量产,还有一定的差距。
“是啊,而我们现在,却拥有了一台可以量产60n芯片的光刻机,如果
作熟练了,速度提上去,再
行交替光刻,一天至少可以造上数百片12寸的圆晶啊!”
接着,就是
行检测,主要是显影检测,让合规的硅片
后续的蚀刻
程。
华夏在半导
行业,被压了太多年了。
安正国找来技术人员和材料,在苏扬的指导
,这些专业生产芯片的员工,初步了解到这台光刻机的使用
程。
“没错,往上一个刻度的话,岂不是意味着……45n甚至32n的芯片也有可能了?”
车间
,一片惊喜和
腾的景象。
当然,这里面也有一些员工刚刚接
新设备,
作不顺手的因素。
这话一
,几名兴奋的家伙,立刻止住了话音,转而张了张嘴巴,
睛立刻挣得大大的。
所谓蚀刻,便是通过化学或
理的方法,有选择地从硅片表面,除去不需要材料的过程。
这和华夏古代的印刷术,实际上有一些相似之
,但光刻技术却比印刷术难了千万倍。
“
来了,居然真的
来了!”
从开始光刻,到最后洗去残余的光刻胶,几个步骤,就足足花了三个多小时。
“是啊,刚才用的还是最低的
度!”
“不对,我之前看过一篇学术报告,euv光刻技术的真正领域,是32n,不,是22n以
的领域!”
在硅片表面覆盖一层
有
度光

的光刻胶,再用光线透过掩模照
在硅片表面。
“22n以
,这……这也太疯狂了吧。”
从上个世纪以来,就一直跟在西方国家的屁
后面跑,说是向人家乞讨技术也不为过。
但是,在工艺
平上,也能证明华夏没比ter等落后太多了。
“60n的电路图,居然真的被我们转移到了硅片上。”
这是一个十分涨士气的突破。
此后,再用特定的溶剂洗去被照
或未被照
的光刻胶,就实现了电路图从掩模到硅片的转移。
被光线照
到的光刻胶,会发生反应。
光刻的原理,实际上非常简单。
技术。
这一过程,目前只能通过光刻,才能最有效地实现。
完成之后,就能通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶了。