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第376章 极紫外光刻机

        当然,这是最简易的光刻步骤,在实际生产制造中,比这复杂了上百倍。

        当时间来到午四半的时候。

        而在ic制造中,光刻又是半导芯片生产程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本

        一旁,刘元龙沉声“各位,你们难没有意识到吗?刚才我们用的,只是这台光刻机最底线的度!”

        “这是一个突破,了不起的突破,如果我们把这里发生的事,宣布去,足以震惊整个华夏,乃至是中央都要被惊动!”

        其中的难和关键,在于将电路图从掩模上转移至硅片上。

        所以,光刻的工艺平,往往直接决定了芯片的制程平和平。

        一般的光刻步骤,有气相成底膜、旋转涂胶、烘、曝光、显影、膜。

        “不可思议啊!全华夏能60n芯片的企业,不超过三家,而且全是在18年半年才刚刚突破的技术,还是在实验室里!到量产的话,得到今年年底,甚至是明年年初去了。”

        “……”

        虽然60n芯片的量产,和45n芯片的量产,还有一定的差距。

        “是啊,而我们现在,却拥有了一台可以量产60n芯片的光刻机,如果作熟练了,速度提上去,再行交替光刻,一天至少可以造上数百片12寸的圆晶啊!”

        接着,就是行检测,主要是显影检测,让合规的硅片后续的蚀刻程。

        华夏在半导行业,被压了太多年了。

        安正国找来技术人员和材料,在苏扬的指导,这些专业生产芯片的员工,初步了解到这台光刻机的使用程。

        “没错,往上一个刻度的话,岂不是意味着……45n甚至32n的芯片也有可能了?”

        车间,一片惊喜和腾的景象。

        当然,这里面也有一些员工刚刚接新设备,作不顺手的因素。

        这话一,几名兴奋的家伙,立刻止住了话音,转而张了张嘴巴,睛立刻挣得大大的。

        所谓蚀刻,便是通过化学或理的方法,有选择地从硅片表面,除去不需要材料的过程。

        这和华夏古代的印刷术,实际上有一些相似之,但光刻技术却比印刷术难了千万倍。

        “来了,居然真的来了!”

        从开始光刻,到最后洗去残余的光刻胶,几个步骤,就足足花了三个多小时。

        “是啊,刚才用的还是最低的度!”

        “不对,我之前看过一篇学术报告,euv光刻技术的真正领域,是32n,不,是22n以的领域!”

        在硅片表面覆盖一层度光的光刻胶,再用光线透过掩模照在硅片表面。

        “22n以,这……这也太疯狂了吧。”

        从上个世纪以来,就一直跟在西方国家的屁后面跑,说是向人家乞讨技术也不为过。

        但是,在工艺平上,也能证明华夏没比ter等落后太多了。

        “60n的电路图,居然真的被我们转移到了硅片上。”

        这是一个十分涨士气的突破。

        此后,再用特定的溶剂洗去被照或未被照的光刻胶,就实现了电路图从掩模到硅片的转移。

        被光线照到的光刻胶,会发生反应。

        光刻的原理,实际上非常简单。

技术。

        这一过程,目前只能通过光刻,才能最有效地实现。

        完成之后,就能通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶了。

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